Визуальный контроль

Метод обнаружения и анализа внешних дефектов изделий электронной техники, возникающих на различных этапах производства, осуществляемый оператором с использованием оптических средств; один из видов контроля качества электронных приборов. Наиболее трудоёмким считается Визуальный контроль монолитных и гибридных ИС и особенно кристаллов со сформированными на них биполярными или МДП-структурами. Обычно контролю подвергаются кристаллы после всех процессов литографии и разделения пластин. Однако часто, исходя из условий технологии изготовления ИС, Визуальный контроль кристаллов проводят на неразделённой ПП пластине.

При Визуальном контроле выявляют поверхностные дефекты полупроводниковых пластин, коррозию и отслаивание металлических плёнок, нестравленные участки, смещение металлизированой разводки, открытые участки р-п переходов, смещение слоев при фотолитографии, дефекты напыления резисторов и т. п. При определении дефектов пользуются эталонными образцами ИЭТ, конструкторскими чертежами, фотографиями, операционными картами технологического процесса; величины отклонений оценивают сравнением с заданными на чертеже или фотографии размерами топологии, элементов кристалла.

Основным техническим средством Визуального контроля является микроскоп; например, в микроэлектронике широко применяется металлографический микроскоп ММУ-3. Однако длительная работа с микроскопом приводит к быстрой утомляемости зрения контролёра и к снижению качества контроля. С целью повышения эффективности контроля созданы установки Визуального контроля с автоматической подачей и съёмом контролируемого образца, программируемым перемещением координатного стола с образцом относительно входного зрачка микроскопа, автоматизированой регистрацией и удалением бракуемых изделий. Особенно перспективны автоматизированые установки Визуального контроля, оснащённые микропроектором с растровым экраном, дающим достаточно яркое и чёткое изображение, приближающееся по качеству к изображению, получаемому с помощью микроскопа.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.