ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

Совокупность способов получения и обработки толстых плёнок металлов и диэлектриков при изготовлении гибридных ИС, монтажных плат, создании токопроводящих слоев на керамических подложках и других. Наиболее широко распространён способ трафаретной печати, при котором плёнки создаются в результате термической обработки слоя специальной пастой, наносимой на подложку через сетчатый трафарет (для получения требуемого рисунка). В состав паст входят порошки металлов и стекла, а также органические связующие вещества. Металлические компоненты паст определяют электропроводность плёнок и позволяют припаивать к ним выводы и другие металлические детали.

Стекло даёт нужную прочность сцепления пасты с подложкой, а также определяет изоляционные свойства плёнок. Органические компоненты обеспечивают вязкость пасты, необходимую для получения плёнки требуемой конфигурации. Для изготовления токопроводящих и резистивных плёнок используют, например, пасты, содержащие порошки металлов; диэлектрические плёнки изготовляют из пасты на основе титановой керамики; изоляционные плёнки - из пасты с большим содержанием стекла.

Посредством трафаретной печати паста переносится на подложку и подвергается термической обработке. Термообработка включает сушку (при 80-100 С) для удаления из пасты летучих растворителей; отжиг (300-400 С), в процессе которого выжигаются органические компоненты паст; спекание (800-1100 С) в окислительной среде, при котором большинство металлических частиц окисляются и склеиваются друг с другом и с подложкой расплавленным стеклом. При термообработке особенно важна точность выдерживания температурного режима и продолжительности каждой стадии процесса, т. к. происходящие при этом химические реакции в значит, мере влияют на конечный состав и свойства плёнок.

Методы толстоплёночной технологии (в частности, трафаретная печать) используются также при изготовлении печатных плат. В этом случае на плату из изоляционный материала с помощью трафарета наносится не паста, а специальный лак, создающий на плате защитный слой определённых размеров и формы. При последующем травлении не защищённые лаком металлизированые участки поверхности платы растворяются и на поверхности платы (после её промывки) остаётся проводящий слой, рисунок которого в точности повторяет рисунок трафарета.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.