ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ

Прибор для обнаружения течей (сквозных пор, трещин, проколов и т. п. нарушений герметичности) в вакуумных системах. Действие большинства Т. основано на их способности обнаруживать проникающее через течь пробное вещество (обычно газообразное), обладающее специфич. свойствами, которые позволяют заметить его присутствие у поверхности или внутри контролируемого объёма. В электронном приборостроении и машиностроении Т. используются в системах технического контроля для проверки ИЭТ и оборудования на герметичность.

Наиболее высокочувствит. являются масс-спектрометрич. Т., позволяющие обнаружить утечку пробного вещества (в качестве которого используется гелий Не) до 10 мПа/с через течи в любых оболочках - стеклянных, металлических и др. Для обнаружения течи Не подводят к поверхности вакуумир. изделия (например, обдувом изделия тонкой струёй газа), контролируя по масс-спектру момент появления Не в атмосфере изделия. Таким образом устанавливают место, где Не проникает внутрь изделия, т. е. местоположение течи, размеры которой определяют по величине пика Не в масс-спектре. Если Не вводится внутрь изделия, то его утечку можно обнаружить, поместив изделие в вакуумную камеру, присоединённую к Т., либо обследуя поверхность изделия при помощи присоединённого к Т. всасывающего газ щупа. На базе масс-спектрометрич. Т. создаются автоматизир. установки контроля герметичности ИЭТ с производительностью до 600-700 проверок за 1 ч.

Для проверки герметичности ИЭТ всё более широко применяется электронно-захватный Т. Чувствит. элемент такого Т. представляет собой ионизац. камеру в виде газо-наполняемого конденсатора пост, ёмкости, внутрь которого помещается источник р-излучения (изотопы Н, N1). При заполнении камеры газом-носителем (переносчиком пробного вещества), например азотом или аргоном, между её электродами, к которым приложено пост, напряжение, возникает ионизац. ток. С появлением в газоносителе пробного вещества ток ионизации резко уменьшается вследствие захвата электронов изотопного источника атомами пробного вещества. Отбор воздуха у поверхности проверяемого объекта осуществляется при помощи газового эжектора, через который пропускается и газ-носитель перед его подачей в ионизац. камеру. Обычно в качестве пробного вещества в электронно-захватных Т. используются элегаз (5Р) или кислород. Т. с элегазом позволяют обнаружить утечку до 10 мПа/с и установить местонахождение течи с точностью до 1 мм; такие Т. применяются в автоматизир. установках контроля герметичности малогабаритных ИЭТ, их производительность до 1200-1500 проверок за 1 ч. Т., чувствительные к кислороду, применяются главным образом для обнаружения больших течей, которые невозможно установить при помощи спец. пробного вещества, поскольку через большую течь оно вытекает ещё до проверки изделия на герметичность. Кислород же входит в состав воздуха, присутствующего в изделии, и легко обнаруживается Т.

Кроме приведённых в технологии электронного приборостроения, в частности в электронном машиностроении, используются и др. типы Т.: например акустич. (в т. ч. ультразвуковые), реагирующие на акустич. колебания, создаваемые струёй вытекающего через малое отверстие газа; ИК Т., определяющие присутствие в исследуемой атмосфере пробного вещества (например, МНз) по интенсивности поглощения ИМ ИК излучения.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.