ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ

Совокупность процессов изготовления и обработки изделий и материалов с помощью компонентов газоразрядной плазмы - ионов, электронов, свободных радикалов и др. П. т. позволяет изменять форму, размеры, структуру обрабатываемого изделия (материала) или состояние его поверхности. В технологии электронного приборостроения наиболее распространёнными процессами П. т. являются: нанесение на поверхность твёрдых тел тонких плёнок металлов, ПП, диэлектриков и др. материалов (плазменное нанесение плёнок); удаление (травление) тонких плёнок и приповерхностных слоев твёрдых тел (ионное распыление, плазменное травление); изменение физ. или хим. свойств плёнок и приповерхностных слоев твёрдых тел путём их ионного легирования или модифицирования (см. Модифицирование материалов); термич. обработка (сварка, нагрев, наплавление, резка) разл. материалов и изделий.

Процессы П. т. основываются на физ., хим. или смешанном механизме воздействия компонентов плазмы на обрабатываемый материал. Процессы П. т. могут выполняться при нормальном (атмосферном) или повыш. давлении либо в вакууме. При нормальном и повыш. давлении в качестве осн. инструмента плазменной обработки обычно используются разл. типы плазмотронов. В электронном приборостроении с кон. 70-х гг. преимуществ, распространение получили плазменные процессы, осуществляемые в вакууме (см. Вакуумная напылительная техника); такой способ обработки обеспечивает мин. загрязнение материала (изделия), высокую разрешающую способность и хорошую воспроизводимость результатов.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.