ПИРОЛИЗ

Разложение хим. соединений под действием высоких температур. Процессы П. с одноврем. осаждением продуктов распада на поверхности используются в электровакуумной технологии и микроэлектронике. П. ацетилена, бензола, метилового спирта и др. органич. соединений применяют при чернении анодов и сеток (для повышения их излучат, способности и уменьшения вторичной эмиссии) и карбидировании вольфрамовых катодов генераторных ламп (для снижения скорости испарения металла). П. силанов и др. соединений используют для получения тонких плёнок и при эпитаксии ПП структур.

Процесс П. может вызывать и нежелат. последствия. Так, неизбежный в ЭВП П. остаточных газов (в случае, если они содержат пары насосных масел) приводит к снижению термоэлектронной эмиссии катода, возникновению утечки тока между электродами.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.