Технологический процесс, заключающийся в нагреве деталей или материалов до определённой температуры, выдержке их в нагретом состоянии и последующем обычно медленном охлаждении; разновидность термообработки. О. производится для упорядочения структуры материала, а в некоторых случаях для придания поверхности изделия заданных свойств. В технологии электронного приборостроения наиболее часто О. подвергаются заготовки перед формованием из них деталей и готовые детали после формования, сварные соединения металлических и особенно стеклянных деталей, а также поверхности ПП пластин.

О. заготовок перед формованием придаёт материалу пластичность, необходимую для изготовления деталей методом пластич. деформации (например, О. вольфрамовой или молибденовой проволоки перед навивкой из них спирали). О. готовых деталей после формования снимает внутр. напряжения, которые возникают при изготовлении деталей и могут приводить к их деформации при эксплуатации. О. металлич. и стеклянных деталей после их сварки снимает внутр. напряжения, которые могут вызвать коробление или растрескивание деталей вплоть до их разрушения (например, разрыв колбы ЭЛП). О. поверхности ПП пластин упорядочивает структуру материала в поверхностном слое заданной глубины. Примером О. для получения определённых свойств поверхности может служить окисляющий О. металлич. деталей во влажном водороде для получения на их поверхности тонкого слоя окисла, обеспечивающего прочное сцепление металла со стеклом при сваривании.

Для О. широко используются электрич. и газовые печи, нагреват. индукторы, электронно-лучевые установки и т. д., нагрев в которых осуществляется с помощью газовых горелок, ВЧ электро-магн. полей, электрич. тока и электронных пучков. С кон. 70-х гг. .20 в. для О. поверхности ПП пластин применяют луч лазера, что позволяет улучшить структуру материала в поверхностном слое, не вызывая при этом коробления пластин. В кон. 80-х гг. получил распространение «динамический отжиг» кратковрем. импульсами светового потока высокой энергии.