Прибор для хим. анализа вещества и исследования микроскопич. характеристик поверхности твёрдого тела посредством возбуждения эмиссии оже-элек-тронов (см. Оже-эффект) и анализа их энергетич. распределения и формы спектральных линий. Характеристич. энергии спектральных линий оже-электронов определяются природой испускающих их атомов и пространств, расположением атомов друг относительно друга из-за рассеяния на них оже-электронов. Это позволяет по регистрируемым энергиям линий идентифицировать хим. природу атомов и определять ближайшее расстояние между ними. При участии в оже-переходах валентных электронов форма линий зависит от их энергетич. спектра состояний и пространств, локализации заряда. На анализе формы линий основано изучение электронного строения поверхности. Возможность исследования с помощью О.-с. лишь поверхности твёрдого тела определяется исключительно малой эффективной глубиной выхода оже-электронов 0,3-5 нм. В зависимости от природы возбуждающих частиц (электроны, ионы или фотоны) различают электронные, ионные и фотонные О.-с.

Получившие преимуществ, распространение электронные О.-с. содержат вакуумную камеру (10 -10 Па), в которой размещаются исследуемый объект, устройство, формирующее электронный пучок, анализатор энергии электронов и вспомогат. устройства (последние предназначены для изучения влияния разл. воздействий на исследуемый образец, например: ионная пушка для распыления приповерхностного ат. слоя, электронагреват. элемент для подогрева образца). Электронный пучок фокусируется в луч диам. 0,1-10 мкм с энергией 1-10 кэВ. Анализатор разлагает оже-электроны в спектр по их энергетич. распределению. Наибольшее распространение получили электро-статич. дисперсионные анализаторы типа цилиндрич. зеркала; реже используются магн. анализаторы. Спектры оже-электронов содержат информацию лишь о тонком приповерхностном слое образца толщиной -0,3-0,5 нм.

Большинство совр. О.-с. работают в растровом режиме и дают возможность исследовать сравнительно большие площади поверхности объекта. О.-с. позволяют также не только изучать элементный состав приповерхностных слоев твёрдого тела, но и получать сведения об их структуре и её изменениях. Использование ЭВМ обусловливает возможность автоматизации процесса управления работой О.-с. и анализа спектров.