Оже-спектрометр

Прибор для химического анализа вещества и исследования микроскопических характеристик поверхности твёрдого тела посредством возбуждения эмиссии оже-электронов и анализа их энергетического распределения и формы спектральных линий. Характеристики энергии спектральных линий оже-электронов определяются природой испускающих их атомов и пространств, расположением атомов друг относительно друга из-за рассеяния на них оже-электронов. Это позволяет по регистрируемым энергиям линий идентифицировать химическую природу атомов и определять ближайшее расстояние между ними. При участии в оже-переходах валентных электронов форма линий зависит от их энергетического спектра состояний и пространств, локализации заряда. На анализе формы линий основано изучение электронного строения поверхности. Возможность исследования с помощью Оже-спектрометра лишь поверхности твёрдого тела определяется исключительно малой эффективной глубиной выхода оже-электронов 0,3-5 нм. В зависимости от природы возбуждающих частиц (электроны, ионы или фотоны) различают электронные, ионные и фотонные Оже-спектрометры.

Получившие преимуществ, распространение электронные Оже-спектрометры содержат вакуумную камеру (10 -10 Па), в которой размещаются исследуемый объект, устройство, формирующее электронный пучок, анализатор энергии электронов и вспомогательного устройства (последние предназначены для изучения влияния различных воздействий на исследуемый образец, например: ионная пушка для распыления приповерхностного атомного слоя, электронагревательный элемент для подогрева образца). Электронный пучок фокусируется в луч диаметром 0,1-10 мкм с энергией 1-10 кэВ. Анализатор разлагает оже-электроны в спектр по их энергетическому распределению. Наибольшее распространение получили электро-статические дисперсионные анализаторы типа цилиндрического зеркала; реже используются магнитные анализаторы. Спектры оже-электронов содержат информацию лишь о тонком приповерхностном слое образца толщиной -0,3-0,5 нм.

Большинство современных Оже-спектрометров работают в растровом режиме и дают возможность исследовать сравнительно большие площади поверхности объекта. Оже-спектрометры позволяют также не только изучать элементный состав приповерхностных слоев твёрдого тела, но и получать сведения об их структуре и её изменениях. Использование ЭВМ обусловливает возможность автоматизации процесса управления работой Оже-спектрометров и анализа спектров.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.