МИКРОМАНИПУЛЯТОР

Устройство, преобразующее движение рук человека в малые точные перемещения управляемого объекта (микроинструмента или изделия), контролируемые с помощью микроскопа, оптич. проектора или др. оптич. средств. В произ-ве ИЭТ М. применяют, например, для точного совмещения микропроволочных выводов и сварочного микроинструмента с контактными площадками ПП приборов, фотошаблонов - с рисунком подложки, зондов - с контактными площадками ИС. Состоит М. из координатного стола, на котором закреплён держатель объекта управления, механизма, обеспечивающего передачу движения от управляющего органа (приводимого в действие рукой человека) к объекту, и устройства визуального контроля.

Важнейшим параметром М. является масштабный коэффициент - отношение линейной скорости или вели чины перемещения объекта управления к линейной скорости или величине перемещения управляющего органа. Напр., для сборки электронных устр-в наиболее часто применяют М. с передаточным механизмом рычажного или пантограф-ного типа с масштабным коэф. от 1:3 до 1:10 при точности перемещения 5-10 мкм; в фотолитографии используют М. с передаточным механизмом рычажно-винтового типа с масштабным коэф. от 1:10 до 1:100 при точности перемещения до 1 мкм.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.