МАСКИРОВАНИЕ

Способ получения заданной конфигурации элементов ИС и печатных плат, заключающийся в применении масок для защиты определённых участков поверхности от осаждаемых материалов или травителя. Свободная маска (трафарет) представляет собой обычно тонкий металлич. листовой или сетчатый экран с отверстиями, очертания и расположение которых соответствуют конфигурации наносимых плёночных элементов (см. Трафаретная печать).

Контактная маска изготовляется в виде плёнки, чаще всего из фоторезиста, нанесённой непосредственно на подложку или основание печатной платы с последующим получением рисунка методом литографии.Лит.: Черняев В. Н., Технология производства интегральных микросхем, М., 1977.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.