ИСПАРИТЕЛЬ

Теплообменное устройство для получения газообразной или паровой фазы вещества, находящегося в жидком или твёрдом состоянии. В электронном приборостроении применяется в технологии ИС для создания тонких плёнок, при нанесении плёночных покры тий на оптич. системы, диффузии примесей в ПП, выращивании эпитаксиальных слоев. Различают И. резистив-ные (контактные и радиац. нагрева), индукц., электронные, дуговые, лазерные.

Контактный резистивный И. представляет собой проволоку или ленту из М, Мо или др. тугоплавкого металла (нагреват. элемент), на которую навешивают или раскладывают кусочки испаряемого вещества (ИВ). ИВ разогревается до температуры плавления за счёт тепловой энергии, выделяющейся в нагревателе при протекании через него электрич. тока. В И. такого типа расплавленное ИВ находится в непосредств. контакте с нагревателем, поэтому для получения высокочистых продуктов испарения необходимо, чтобы материал нагревателя не образовывал с расплавленным ИВ летучих хим. соединений и имел ничтожно малое давление собств. пара при температуре испарения.

Радиационный резистивный И. содержит тигель из тугоплавкого материала (например, графита, кварца), куда для нагрева помещают ИВ; тигель снабжён электронагреват. элементом в виде проволочной спирали, по которой пропускается электрич. ток.

Индукционный И. представляет собой нагревательный индуктор, по обмотке которого пропускается ток высокой частоты. В рабочую зону индуктора ИВ помещают в тигле или без него (под действием электро-магн. поля индуктора некоторые ИВ могут находиться во взвешенном состоянии, без тигля, благодаря чему устраняется контакт ИВ с материалом И.; в пром. произ-ве такие И. встречаются редко, чаще применяют И. с керамич. тиглями). Осн. недостатки индукц. И.: малый кпд, а также невозможность испарения в нём диэлектриков.Электронные И. подразделяются на термоэлектронные и электронно-лучевые. В И. первого типа ИВ в тигле или вне тигля нагревается потоком электронов, испускаемых термоэлектронным катодом; в этом случае тигель из тугоплавкого металла или непосредственно ИВ выполняют роль анода, когда на них подаётся положительное (относительно катода) напряжение.

В электроннолучевом И. благодаря фокусировке электронов в узкий пучок - электронный луч - можно получить высокую концентрацию энергии на незначит. участке поверхности ИВ, в результате чего возникает локальная зона испарения, в то время как большая часть ИВ остаётся в твёрдом (не расплавленном) состоянии . Таким образом удаётся исключить соприкосновение расплавленного ИВ со стенками тигля, приводящее к загрязнению продуктов испарения.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.