ИОННАЯ ОПТИКА

Занимается вопросами формирования, фокусировки и отклонения ионных пучков в вакууме и получения с их помощью изображений под воздействием статич. электрич. или (и) магн. полей. Происхождение термина «И. о.», как и термина электронная оптика, связано с существующей аналогией между движением ионов в потенциальных полях и распространением световых лучей в разл. оптич. средах. Движение ионов описывается теми же уравнениями, что и движение электронов.

Формирование ионных пучков осуществляется с помощью ионно-оптических систем, по своему устр-ву аналогичных электронно-оптическим системам. В зависимости от используемого способа эмиссии ионов (см. Ионная эмиссия) различают ионно-оптич. системы с твердотельными и с плазменными ионными эмиттерами. При проектировании ионно-оптич. систем с твердотельными эмиттерами используются те же методы, что и при проектировании электронно-оптич. систем. В ионно-оптич. системах с плазм, эмиттером, основанных на использовании дугового разряда, ВЧ разряда, ионизации газа электронным ударом и др. явлений, извлечение ионов из плазмы осуществляется с помощью извлекающего (ускоряющего, вытягивающего) электрода. Конфигурация извлекающего электрода зависит от положения границы плазмы и определяется в большинстве случаев экспериментально.

Ионно-оптич. системы используются в устройствах ионно-лучевой обработки материалов (ионного легирования, ионного травления, ионного распыления), масс-спектрометрах, ионных микроскопах, ионозондах, ускорителях заряженных частиц, установках для электро-магн. разделения изотопов и др.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.