ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА

Облучение поверх-ности твёрдого тела (например, электродов электровакуумных или газоразрядных приборов, стенок камер вакуумного напыления, полупроводниковых пластин) направленным потоком ионов.

Под действием ионного потока (созданного плазмотроном) на поверхности твёрдого тела протекают сложные физико-хим. процессы, основными из которых являются: вторичная ионная и электронная эмиссии; десорбция газовых молекул или слабо связанных с поверхностью загрязнений (см. Ионная очистка); селективное удаление вещества; равномерное послойное удаление вещества с поверхности твёрдого тела (см. Травление); глубокое внедрение ионов в твёрдое тело для легирования (см. Ионное легирование) или модифицирования материалов; нагрев твёрдого тела вплоть до плавления и испарения вещества с его поверхности. Сфокусированные ионные пучки используют для локальной И. б. с целью инициировать из указанных процессов на небольшом участке поверхности твёрдого тела, например при ионно-лучевом распылении или локальном травлении.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.