ФОТОПОВТОРИТЕЛЬ

Установка для изготовления фотошаблонов путём многократного проецирования (мультиплицирования) изображения фотооригинала в уменьшенном масштабе на фотопластину - основу фотошаблона. В состав Ф. входят оптико-механич. устройство (репродукц. фотокамера) и устройство управления, размещаемое обычно в отд. блоке или стойке. Фотооригинал, подлежащий репродуцированию, размещается на манипуляторе и фиксируется в строго определённом положении.

Фотопластина (основа будущего фотошаблона) укрепляется на координатном столе и перемещается вместе с ним. Периодически в определённых положениях (позициях) на фотопластину проецируется изображение фотооригинала. Время экспонирования (выдержка) и координаты каждой позиции (положение стола) задаются автоматически системой управления в соответствии с программой мультиплицирования, вводимой оператором с пульта устройства управления. По окончании экспонирования изображение на фотопластине проявляют и фиксируют - получается готовый фотошаблон. Наиболее совершенные Ф. оснащены системой автоматич. фокусировки изображения.

Осн. параметры Ф.: совмещаемость комплекта фотошаблонов (точность расположения изображений по всему полю фотошаблона оценивается по базовым меткам) и разрешающая способность (способность оптич. системы Ф. создавать раздельные изображения двух близко расположенных элементов фотооригинала). Применяемые в произ-ве ПП приборов и ИС Ф. обеспечивают изготовление фотошаблонов на пластинах размером 150Х150 мм и более, с размерами модуля (одного изображения фотооригинала) до 20X20 мм и мин. размерами элементов до 0,5 мкм; расхождение фотооригиналов на разных фотошаблонах не превышает 0,5-1 мкм.

Copyright © 2002 - 2017 Ravnopravie.kharkov.ua. All Rights Reserved.